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石墨模具的加工精度保证
微米级尺寸操控
通过高精度CNC设备加工，结合在线测量与补偿技术，实现夹具要害尺寸（如孔径、槽宽）的公役操控在±0.005mm以内。
事例：在半导体晶圆加工中，石墨夹具的平面度误差需≤0.5μm，以确保晶圆与加工设备的精确对齐。
外表质量优化
采用研磨、抛光等后处理工艺，降低夹具外表粗糙度（Ra≤0.4μm），减少工件装夹时的微损伤，提升加工外表质量。
事例：在精细光学元件加工中，石墨夹具的外表粗糙度需达到镜面级（Ra≤0.1μm），防止划伤光学外表。
热变形补偿技术
通过有限元分析（FEA）模拟夹具在高温下的变形，优化结构规划（如增加补偿槽、调整材料散布），将热变形量操控在加工允许范围内。
事例：在高温分散焊接中，石墨夹具的热变形补偿规划可确保工件焊接后尺寸精度满足规划要求。

石墨模具