石墨治具的使用方法

石墨治具的运用方法
      在功率模块制作过程中，石墨治具首要用于支撑、加热和维护硅片等作业。具体来说，运用石墨治具可以将硅片放置在石墨基板上，并进行加热处理，使硅片表面构成均匀的氧化层。一起，石墨治具还可以维护硅片表面，避免其遭到外部危害。

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