半导体烧结石墨载具的操作技能
半导体烧结石墨载具的操作技能主要触及模具的预处理、组装、填充粉末、烧结参数设置、烧结进程监控以及冷却和脱模等进程。以下是对这些操作技能的具体解析:
一、模具预处理
清洗:对石墨载具进行完全的清洗,去除表面的油污、尘土等杂质,以保证模具在烧结进程中不受杂质影响,保证烧结质量。
二、模具组装
部件识别:了解石墨载具的各个部件,如第一上压头、上石墨垫片、第二上压头、内石墨套筒、下石墨垫片、第二下压头、第一下压头号。
组装次第:依照规划要求依次组装石墨载具的各个部件,保证各部件之间的紧密配合,避免在烧结进程中出现漏粉或压力不均的情况。
三、填充粉末
粉末选择:依据烧结工艺和产品要求选择适合的粉末资料。
填充办法:将待烧结的粉末资料均匀填充到石墨载具的反响室内,保证粉末的密度和分布满意工艺要求。有时需求在粉末中加入必定量的粘结剂或其他添加剂,以行进成型作用和烧结功能。
四、烧结参数设置
温度设置:依据待烧结资料的特性和工艺要求,设置适合的烧结温度。需求留心的是,当烧结温度高于必定值(如1000℃或1500℃)时,或许需求运用碳毡包裹石墨模具以保护其不受高温危害。
压力与时刻:设置适合的烧结压力和时刻,以保证粉末颗粒能够充沛结组成细密的金属零件。
五、烧结进程监控
温度监控:接近监控烧结设备的温度,保证烧结进程在设定的温度范围内进行。
压力监控:监控烧结进程中的压力改动,保证压力安稳且符合工艺要求。
情况查询:留心查询模具和粉末的情况,如有反常情况(如漏粉、压力不平等)应及时处理。
六、冷却与脱模
冷却办法:烧结完成后,将石墨载具从烧结设备中取出,并进行天然冷却或强制冷却。冷却速度要依据资料的特性和工艺要求来承认,以避免因冷却过快而导致资料开裂等问题。
脱模操作:待模具冷却至室温后,进行脱模操作。因为石墨模具具有出色的润滑性和耐高温性,脱模一般比较简单。但在操作进程中仍要小心翼翼,避免损坏烧结后的制品。
综上所述,半导体烧结石墨载具的操作技能需求掌握模具的预处理、组装、填充粉末、烧结参数设置、烧结进程监控以及冷却和脱模等要害进程。这些技能关于保证烧结进程的安稳进行和获得高质量的烧结产品至关重要。
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