石墨治具的使用要求

石墨治具的使用要求
    石墨治具是用于在半导体制造过程中承载、固定和维护芯片的石墨制件。在使用过程中，需要满意以下要求：
    1.石墨治具应具有杰出的导热性能，以确保芯片在作业过程中散热杰出。
    2.石墨治具的外表应光滑、平整，无划痕或凸起，避免对芯片形成损伤。
    3.石墨治具的规划应契合所承载的芯片尺寸和形状，以确保其稳定性和承载才能。
    4.使用前应对石墨治具进行预热处理，以削减热冲击对其的影响。
    5.使用后应对石墨治具进行清洁和维护，以坚持杰出的作业状况和延长其使用寿命。