水冷板烧结夹具的选用原则

水冷板烧结夹具的选用准则
    水冷板烧结夹具、VC均温板载具等热工装备是制作半导体芯片的重要东西，其选用准则直接影响到生产效率和产品质量。因而，正确选用这些装备是制作过程中的重要环节。
    水冷板烧结夹具是用于将硅片固定在加热设备上的东西，其选用准则首要包括以下几个方面：
    1.耐高温性：水冷板烧结夹具需求具有较高的耐高温性，以确保在高温下不会发生变形或损坏，影响固定效果。
    2.均匀性：水冷板烧结夹具的导热性能要好，以确保硅片在加热过程中温度均匀分布，避免因温度不均而产生热裂解等问题。
    3.强度和刚性：水冷板烧结夹具需求具有一定的强度和刚性，以确保在加压或减负过程中不发生弯曲或变形，保持硅片的平整度。
    4.重复运用性：水冷板烧结夹具应具有杰出的重复运用性，以便于多次运用，降低生产成本。
    5.易于清洁和保护：水冷板烧结夹具的结构应简略、易于清洁和保护，以确保生产过程中的卫生和设备正常运转。