导致石墨坩埚断裂的因素有哪些?
发布时间:2023-10-12 16:00:54
石墨坩埚开裂原因包含以下三点:
一、加工缺点。这类原因构成的石墨坩埚开裂后体现一般是从接缝处开裂,然后延张开。通常是沿笔直方向裂开。这类问题发生后比较简单发现,由于实在是太明显了。构成这类问题的原因主要是接缝过渡的视点(一般是105°或许115°)在相交点部分,没有选用倒圆角缓冲,加之加工进程中刀尖部分对埚体的微观撕裂,以及运用进程中坩埚本身的应力,构成开裂。
二、运用不当。这个主要是在冷却降温拆炉这段时间。运用者在拉晶的时分又会有一个缩短升温时间和冷却时间以及拆炉时间的主见,前进出产功率无可厚非,这个能够了解。但是石墨这种材料能不能顶得住这个降温速度就要考量一下了。石墨材料在温度升高的情况下,强度方面会前进,换言之就是在温度下降的时分,强度会下降。降温过快,外壁和内壁之间的温差引起的应力,是否超过了坩埚所能接受的规划,这个就要考虑一下了。
三、运送装卸装拆不当。运送装卸主要是在运送进程,这个和各个热场出产厂家的包装有关,也和物流公司有关。不过现在大部分都是挑选自己送货了,这类原因在逐渐减少。装拆主要是在拉晶进程,尤其是新手辅助工拆炉会偶尔有发生。