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石墨治具的使用方法
在功率模块制作过程中，石墨治具首要用于支撑、加热和维护硅片等工作。具体来说，使用石墨治具能够将硅片放置在石墨基板上，并进行加热处理，使硅片外表构成均匀的氧化层。同时，石墨治具还能够维护硅片外表，避免其受到外部损害。

石墨治具