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高精纯石墨盘和惯例石墨盘在纯度、功能、应用领域和制备工艺等方面存在显著差异,详细如下:
纯度
高精纯石墨盘:碳含量一般超越99.9%,甚至更高,对杂质含量要求极为严厉,一般要求杂质含量在0.01%以下。高纯度使得其在一些对资料纯净度要求极高的领域能够发挥关键作用。
惯例石墨盘:碳含量一般在94%至99%之间,杂质含量相对较高。
功能
高精纯石墨盘:
化学稳定性:极高,几乎不与任何化学物质产生反应,在化工行业中,特别是需求抗腐蚀、耐高温的环境下表现出色。
电导率:电阻率极低,仅为惯例石墨盘的一小部分,在电子和电气行业中具有共同优势,常用于制作电极和电接触资料,能下降能耗,提高设备效率。
热导率:是惯例石墨盘的两倍以上,在需求快速热传导的应用中至关重要,如在半导体制作中,能迅速均匀地传递热量,削减温度梯度,确保晶圆的均匀加热。
机械强度和耐性:在高温下表现出更好的功能,结构稳定性更好,例如在冶金行业中,可用于制作坩埚和模具,在极点温度下保持形状而不变形或破裂。
外表硬度:较高,耐磨功能优异,在机械加工中,常被用作润滑剂或涂层,能削减冲突,延伸设备的使用寿命,甚至在某些高精度机械加工中可代替传统金属资料,削减磨损和提高加工精度。
惯例石墨盘:化学稳定性、电导率、热导率、机械强度和耐性等方面相对较弱,难以满意一些对资料功能要求极高的应用场景。
应用领域
高精纯石墨盘:
半导体制作:用于晶圆加热、热管理和等离子体刻蚀设备等。
新能源:作为锂离子电池的负极资料,推动电动车和可再生能源的发展。
核工业:由于其优异的中子吸收能力和高温稳定性,用于制作核反应堆的控制棒和屏蔽资料。
化工:抗腐蚀性使其成为化工设备的抱负资料。
机械加工:作为高精度加工的润滑剂和模具资料。
惯例石墨盘:首要应用于一些对资料功能要求不高的领域,如一般性的耐火资料制作、一般机械加工的辅助工具等。
制备工艺
高精纯石墨盘:制备过程更为杂乱和严厉,需求选用灰分极低的质料,多数采用模压或等静压成型,石墨化温度高,并在石墨化过程中通入卤族元素气体以下降杂质含量,某些高精纯石墨器件还会在外表涂厚度为10-20um的热解石墨以提高抗氧化性。
惯例石墨盘:制备工艺相对简略,对质料和工艺参数的要求没有那么严苛。

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